產(chǎn)品描述
LET-5000半導體測試系統(tǒng)是一款測量與分析功率半導體器件靜態(tài)參數(shù)的專用儀器,為所有類型的功率半導體器件提供靜態(tài)參數(shù)測量解決方案。
LET-5000半導體測試系統(tǒng)能在2200V(可擴展為10KV)和1000A (可擴展為6000A)的條件下實現(xiàn)精確測量、分析功率半導體器件的靜態(tài)參數(shù)。
LET-5000具有快脈沖能力,并具有優(yōu)異的寬電壓和電流測量能力。這些功能能夠對最新的器件(例如 IGBT)和新型材料(例如 GaN 和 SiC)進行測量,可以測試器件包括:MOSFET、IGBT、二極管、三極管、JET、HEMT、光耦等。
LET-5000由多個獨立的高精度源組成,每個功率源模塊上配備兩個獨立的模數(shù)(AD)轉換器支持2μs采樣率,每個模塊上的驅動能夠獨立精確控制,對有可能影響器件特性的關鍵計時進行精確監(jiān)測。具有高電壓和大電流特性、μΩ級導通電阻精確測量、nA 級漏電流測量能力等特點,支持高壓模式下功率器件結電容測試,如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。

系統(tǒng)組成
(1)力鈦科LETAK功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng),主要包括測試主機、測試線、測試夾具、電腦、上位機軟件,以及相關測試配件等構成。
(2)整套系統(tǒng)采用力鈦科自主開發(fā)的測試主機,內置多種規(guī)格電壓、電流、電容測量單元模塊。結合專用上位機測試軟件,可根據(jù)測試項目需要,設置不同的電壓、電流等參數(shù),以滿足不同測試需求。測試數(shù)據(jù)可保存與導出,并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外,測試主機可與探針臺搭配使用,實現(xiàn)晶圓級芯片測試。
系統(tǒng)參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) | 范圍 | 準確度 |
| 集電極-發(fā)射極 | 電壓 | 300V--3500V | ±0.1% |
| 電流 | 5A--6000A | ±0.1% | |
| 電壓上升沿 | 5ms | N/A | |
| 電流上升沿 | 15μs | N/A | |
| 最小電壓脈寬 | 1ms | ±100μs | |
| 電流脈寬 | 50μs-500μs | ±5μs | |
| 漏電流測試范圍 | 1nA-100mA | ||
| 柵極-發(fā)射極 | 電壓 | 300mV--300V | ±0.1% |
| 電流 | 10nA--1A | ±0.1% | |
| 最小電壓分辨率 | 30μA | N/A | |
| 最小電流分辨率 | 10pA | N/A | |
| 脈沖寬度 | 200μs--100ms | ±10μs | |
| 電容測試 | 頻率范圍 | 10Hz-1MHz | ±0.1% |
| 電容值范圍 | 0.01pF-9.9999F | ±0.5% | |
| 信號電平 | 10mV-2Vrms | 0.06 | |
| 偏壓 | 300V--3500V | ±0.1% | |
| 溫控 | 范圍 | 25℃-200℃ | ±1℃ |
LET-5000系列的主要應用
■ 功率半導體的來料檢驗
■ 功率半導體的靜態(tài)參數(shù)驗證或標定
■ 實驗室的器件評估
■ 功率半導體的生產(chǎn)檢驗和篩選
■ 半導體器件的工藝改進評估
■ 半導體器件的失效分析
■ 半導體器件的教育科研
優(yōu)勢
硬件優(yōu)勢>>>
力鈦科LETAK功率器件靜態(tài)參數(shù) 測試系統(tǒng),配置有多種測量單元模塊, 模塊化的設計測試方法靈活,能夠極 大方便用戶添加或升級測量模塊,適 應測量功率器件不斷變化的需求。
◆ 高電壓達8000V(最大擴展至10kV)
◆ 大電流達6000A(多模塊并聯(lián))
◆ nA級漏電流μQ 級導通電阻
◆ 高精度測量0.1%
◆ 模塊化配置可添加或升級測量單元
◆ 測試效率高、自動切換、一鍵測試
◆ 兼容多種封裝根據(jù)測試需求定制夾具
測試夾具
針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導體,IGBT、SiC、MOS、GaN 等產(chǎn)品,力鈦科提供整套測試夾具解決方案, 可用于TO 單管,半橋模組等產(chǎn)品的測試,后期可根據(jù)客戶需求來定制化相對應封裝。

軟件特點>>>
◆ 測試主機內部采用的電壓、電流測量單元,均采用多 量程設計,測試精度為0.1%
◆ 柵極-發(fā)射極,最大支持30V/10A 脈沖電流輸出與測 試,可測試低至pA級漏電流
◆ 集電極-發(fā)射極,最大支持6000A高速脈沖電流,典型 上升時間為15 μs, 且具備電壓高速同步采樣功能
◆ 最高支持8000V電壓輸出,且自帶漏電流測量 功能
◆ 電容特性測試包括輸入電容、輸出電容、以及 反向傳輸電容測試,頻率最高支持1MHz

測試器件類型及項目
LET-5000系列測試器件類型及項目>>>
| 參數(shù)分類 | 參數(shù)符號 | 參數(shù)說明 |
| 三極管 | V(BR)CEO | 集電極-發(fā)射極擊穿電壓 |
| V(BR)CBO | 集電極-基極擊穿電壓 | |
| V(BR)EBO | 發(fā)射極-基極擊穿電壓 | |
| ICBO | 集電極-基極截止電流 | |
| IEBO | 發(fā)射極-基極截止電流 | |
| VCESAT | 集電極-發(fā)射極飽和電壓 | |
| VBESAT | 基極-發(fā)射極飽和電壓 | |
| IC | 集電極電流 | |
| IB | 基極電流 | |
| Ccb | 集電極-基極電容 | |
| Ceb | 發(fā)射極-基極電容 | |
| hFE | 增益 | |
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
| GaN HEMT | V(BR)DSS | 柵極-源極擊穿電壓 |
| VGS(th) | 柵極閾值電壓 | |
| IDSS | 源極漏電流 | |
| IGSS | 柵極漏電流 | |
| RDS(on) | 源極-漏極導通電阻 | |
| VSD | 體二極管導通電壓 | |
| ISD | 體二極管導通電流 | |
| Ciss | 輸入電容 | |
| Coss | 輸出電容 | |
| Crss | 反向傳輸電容 | |
| gfs | 跨導 | |
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
| 光耦 | IF | 正向電流 |
| VF | 正向電壓 | |
| V (BR) | 反向擊穿電壓 | |
| VCE (sat) | 輸出飽和壓降 | |
| ICEO | 反向截止電流 | |
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
| 反向截止電流 | ||
| 輸入電容 | ||
| 輸出電容 | ||
| 入出間隔離電容CIO | ||
| 輸出電流傳輸比CTR | ||
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| MOSFET | V(BR)DSS | 柵極-源極擊穿電壓 |
| VGS(th) | 柵極閾值電壓 | |
| IDSS | 源極漏電流 | |
| IGSS | 柵極漏電流 | |
| RDS(on) | 源極-漏極導通電阻 | |
| VSD | 體二極管導通電壓 | |
| ISD | 體二極管導通電流 | |
| Ciss | 輸入電容 | |
| Coss | 輸出電容 | |
| Crss | 反向傳輸電容 | |
| gfs | 跨導 | |
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
| IGBT | VCES | 集電極-發(fā)射極電壓 |
| V(BR)CES | 集電極-發(fā)射極擊穿電壓 | |
| VCEsat | 集電極-發(fā)射極飽和電壓 | |
| IC | 集電極電流 | |
| ICES | 集電極截止電流 | |
| VGES | 柵極-發(fā)射極電壓 | |
| VGE (th) | 柵極-發(fā)射極閾值電壓 | |
| IGES | 柵極漏電流 | |
| Ciss | 輸入電容 | |
| Coss | 輸出電容 | |
| Crss | 反向傳輸電容 | |
| gfs | 跨導 | |
| 輸入特性曲線 | ||
| 輸出特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
| 二極管 | VR | 反向擊穿電壓 |
| IR | 反漏電流 | |
| VF | 正向電壓 | |
| IF | 正向電流 | |
| Cd | 電容值 | |
| I-V特性曲線 | ||
| C-V特性曲線 | ||
訂購
LET-5000系列訂購信息>>>
| 型號 | 準確度 | 最大電壓 | 最大電流 |
LET-5110 | ±0.1% | 1200v | 1000A |
| LET-5210 | ±0.1% | 2200V | 1000A |
| LET-5220 | ±0.1% | 2200V | 2000A |
| LET-5310 | ±0.1% | 3500V | 1000A |
| LET-5320 | ±0.1% | 3500V | 2000A |
| LET-5340 | ±0.1% | 3500V | 4000A |
| LET-5820 | ±0.1% | 8000V | 2000A |
| LET-5860 | ±0.1% | 8000V | 6000A |
LET-5000系列系統(tǒng)硬件夾具選件>>>
| 型號 | 說明 |
| LET-TO-247plus-3L | TO-247plus-3L單管器件支持,含治具板; |
| LET-TO-263 | TO-263單管器件支持,含治具板; |
| LET-TO-3P | TO-3P單管器件支持,含治具板; |
| LET-PDFN5X6 | PDFN5X6單管器件支持,含治具板; |
| LET-SOT23 | SOT23單管器件支持,含治具板; |
| LET-SOT323 | SOT323單管器件支持,含治具板; |
| LET-SOP8 | SOP8單管器件支持,含治具板; |
| LET-1B | EasyPack 1B模塊支持,含治具板; |
| LET-2B | EasyPack 2B模塊支持,含治具板; |
| LET-PIM3 | EconoPIM3模塊支持,含治具版; |
| LET-XXX | 客戶定制治具板 |






